日本SoftWorks 超級宏 SM75
超級宏SM75是日本SoftWorks株式會社推出的大視場宏觀顯微鏡系統。在半導體、光學材料、陶瓷基板相關檢測工作中，很多被測樣品尺寸較大，普通顯微鏡觀察視野狹小，只能看到樣品局部，想要查看整片晶圓、整塊基板的整體外觀，需要反復移動樣品，效率低下，還容易遺漏邊角位置的缺陷。SM75超級宏顯微鏡就是針對大面積樣品檢測場景開發，能夠對完整大尺寸試樣開展全域成像，無需對工件進行切割破壞，直接完成整片樣品的外觀篩查工作。
設備依靠高性能光學成像單元，實現大視場下樣品全貌采集，既可以查看樣品整體狀態，也能夠放大觀察局部位置，識別劃痕、表面顆粒、污漬、崩邊、斑點等多種外觀不良。針對超出單張視野的超大試樣，設備支持圖像拼接處理，生成完整全景圖像，直觀呈現整片樣品表面情況。配套專業圖像分析軟件，采集圖像之后可以對缺陷位置標記定位，完成尺寸測算，保存圖像與檢測數據，直接用于實驗記錄或者質檢報告輸出。設備廣泛用于半導體晶圓檢測、陶瓷基板質檢、光學元件觀測、大型薄膜板材以及各類工業零部件外觀檢驗，既適合企業研發實驗室做樣品評估，也可以部署在產線完成批量樣品的外觀初篩，大幅提升大尺寸樣品外觀檢測效率。
日本 SoftWorks（ソフトワークス株式會社）超級宏 SM75 宏觀顯微鏡 技術參數
| 產地品牌型號 | 日本 SoftWorks（ソフトワークス株式會社）超級宏 SM75 |
| 設備類別 | 超級宏觀顯微鏡系統 |
| 主要功能 | 大視場全域成像、大面積樣品缺陷篩查、外觀形貌觀測、圖像拼接、缺陷測量分析 |
| 適用樣品 | 半導體晶圓、陶瓷基板、光學零部件、大型薄膜、各類大尺寸工件 |
| 設備配置 | SM75主機、光學成像單元、樣品載臺、控制及圖像分析軟件 |
| 適用場景 | 半導體行業、光學元件檢測、材料實驗室、工業零部件外觀質檢產線 |
產品核心優勢
大視場宏觀成像，完整觀測大尺寸樣品，無需切割拆分試樣，保護被測工件；
兼顧全貌觀察與局部細節識別，快速檢出劃痕、顆粒、崩邊等各類表面外觀缺陷；
支持圖像拼接，生成超大樣品全景圖，便于對整片樣品做整體質量評估；
配套圖像分析軟件，缺陷標記、尺寸測量、數據導出一體化，方便報告整理；
日本SoftWorks原裝設備，操作簡單，同時適配科研實驗室和工業產線抽檢場景。
日本 SoftWorks（ソフトワークス株式會社）超級宏 SM75 宏觀顯微鏡 主要應用領域
半導體晶圓全域外觀檢查；陶瓷基板表面缺陷檢測；光學元件宏觀形貌觀測；大型薄膜板材外觀篩查；工業零部件外觀質量檢驗。
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