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PK361 全壓型真空計(jì)測量技術(shù)與應(yīng)用探究

發(fā)布時(shí)間： 2026-08-04　　點(diǎn)擊次數(shù)： 46次

PK361 全壓型真空計(jì)由日本熱理工（Thermo Riko）推出，是一款集成復(fù)合測量原理的寬量程真空檢測設(shè)備，有效解決傳統(tǒng)真空設(shè)備量程分段、需要多支規(guī)管搭配使用的痛點(diǎn)，成為超高真空腔體監(jiān)測的常用測量儀器。整套設(shè)備由真空規(guī)探頭、信號(hào)控制主機(jī)兩部分組成，分體式結(jié)構(gòu)便于在狹小真空腔體周邊安裝布局，主機(jī)搭載顯示屏可實(shí)時(shí)讀取壓力數(shù)值，同時(shí)支持信號(hào)對(duì)外傳輸，方便接入自動(dòng)化控制系統(tǒng)。
該真空計(jì)融合皮拉尼熱傳導(dǎo)測量與冷陰極電離兩種檢測原理，實(shí)現(xiàn)從常壓到超高真空區(qū)間連續(xù)測量。在低真空區(qū)域依靠皮拉尼規(guī)基于氣體熱傳導(dǎo)特性采集壓力數(shù)據(jù)；進(jìn)入高真空區(qū)間后，設(shè)備自動(dòng)切換至冷陰極電離模式，捕捉稀薄氣體電離產(chǎn)生的微弱電流換算真空度。兩種模式無縫切換，全程無需人工更換規(guī)管，消除不同真空規(guī)切換帶來的數(shù)據(jù)斷層問題，量程下限可達(dá) 5×10??Pa，覆蓋絕大多數(shù)真空工藝所需壓力區(qū)間。
潔凈度表現(xiàn)是 PK361 的突出優(yōu)勢(shì)。設(shè)備可搭配金屬密封法蘭選型，摒棄橡膠密封件，減少密封圈出氣對(duì)真空腔體造成污染，十分重視氣體雜質(zhì)含量的半導(dǎo)體設(shè)備、表面物理實(shí)驗(yàn)腔體均可穩(wěn)定使用。設(shè)備抗氣流擾動(dòng)能力較強(qiáng)，在真空泵持續(xù)抽氣、腔體存在微量氣流流動(dòng)工況下，數(shù)據(jù)漂移幅度較低，能夠長期維持穩(wěn)定監(jiān)測。
目前 PK361 廣泛應(yīng)用在多個(gè)真空領(lǐng)域。半導(dǎo)體制造的薄膜沉積、等離子刻蝕設(shè)備依靠它實(shí)時(shí)監(jiān)控腔體真空環(huán)境；各類科研超高真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái)、離子束設(shè)備、真空鍍膜機(jī)組，也常采用該型號(hào)作為標(biāo)準(zhǔn)壓力監(jiān)測組件。除此之外，真空檢漏系統(tǒng)、分子泵性能測試平臺(tái)同樣能夠發(fā)揮其寬量程測量優(yōu)勢(shì)。
想要延長設(shè)備使用壽命，日常維護(hù)工作不容忽視。冷陰極電極長期工作容易吸附污染物，當(dāng)測量出現(xiàn)明顯偏差時(shí)，需要對(duì)規(guī)管腔體進(jìn)行清潔處理；安裝階段注意保證法蘭密封面無劃痕、雜質(zhì)，防止出現(xiàn)泄漏干擾測量精度。同時(shí)，應(yīng)當(dāng)避免規(guī)管直接接觸腐蝕性工藝氣體，必要時(shí)增加過濾保護(hù)組件。
真空技術(shù)持續(xù)向著更高潔凈度、自動(dòng)化方向發(fā)展，一體化全量程真空測量儀器需求持續(xù)上升。PK361 這類復(fù)合型全壓真空計(jì)簡化真空系統(tǒng)配套結(jié)構(gòu)，降低設(shè)備搭建成本，后續(xù)也將在更多前沿真空工藝與科研實(shí)驗(yàn)場景持續(xù)普及。

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